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SDG001、SDG002型 高纯水电导率仪

 

SDG001、SDG002型 高纯水电导率仪

 

应用领域

SDG型系列高纯水电导率仪,用于测量高纯水电导率,其测量纯水可以达到nS/cm级,测量精确、准确、稳定。

高纯水主要应用于电子和微电子工业上,也用于食品、造纸、医药等行业。半导体器件由单电路到集成电路到超高集成电路,其用水的水质要求就越来越高。在半导体切片和研磨过程中,须用高纯水进行清洗。

 

品质

VIOLET®智创,更强、更好、更精彩!

最大允许误差:

      SDG001:±0.1%FS

      SDG002:±0.2%FS

    保障高精度测量;

测量电导率,可实时切换电阻率;

支持功能拓展、扩展;

自动温度补偿(可以选择手动补偿)。

 

功能、特点

六键操作、光标引导;

支持N点标定(N=1~8),支持标定设为理论值;

VIOLET®智创,餍足一支电极全量程范围应用;

测量响应灵敏,平衡后“精、准、快”即时显现;

数据采集、存储符合GLP规范。库存数据可查询、转移、删除(单组)、清零(全部),数据库可无限保存采集数据(SD卡转移输出);

自动温度补偿(可以选择手动补偿);

显示屏背光可调;

操作菜单可选中文、英文。

 

技术参数

参数

技术指标

型号

SDG001

SDG002

仪器引用误差级别

0.1级

0.2级

测量参数

电导率、电阻率、温度

测量范围

电导率

0.00nS/cm~50.00μS/cm

电阻率

20.00KΩ·cm~1.000GΩ·cm

温度

(-5.0~105.0)℃

分辨率

电导率

0.01nS/cm、0.001μS/cm

电阻率

0.001(KΩ·cm、MΩ·cm)

温度

0.1℃

最大允许

误差

电导率

±0.1%FS

±0.2%FS

电阻率

±0.2%FS

±0.5%FS

温度

±0.2℃

重复性

≤0.1%FS

0.2%FS

电源

电源适配器(输入AC:220V,50/60Hz;输出DC:12V,50mA)

尺寸;重量

165×205×60(mm);350(g)

 

高纯水电导率

一般称电导率小于0.1μS/cm的纯水为高纯水。在工艺条件下制备的高纯水,杂质近乎为零。高纯水电导率(或电阻率)是水质要求关健指标。

高纯水制备的典型工艺流程如下:源水→过滤→活性炭过滤器(或有机大孔树脂吸附器)→反渗透器(或电渗析器)→阳离子交换柱→阴离子交换柱→ 混合离子交换柱→有机物吸附柱→紫外灯杀菌器→精密过滤器→高纯水。

制定高纯水标准主要依据:(1).微电子工艺对水质的要求;(2).制水工艺的发展水平;(3).水中杂质监测技术的现状等。目前,在1 G(及以上)位超大规模集成电路制造中,对高纯水的技术要求很严。

电极常数标定:用标准纯水(已知电导率值)作为标定溶液,标定电极常数。标定前用高纯水把电极清洗干净,并用虑纸吸干水分,再用标定纯水适量冲洗。

十分感谢高纯水领域的工程师们在测量应用工艺方面的经验、探索和创新。

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